干式螺杆真空泵是一种先进的真空获得设备，通过两个相互啮合但不接触的螺杆转子在泵腔内同步反向
旋转来产生真空。与传统油封式真空泵不同，干式螺杆真空泵无需工作液，能够提供洁净无污染的真空
环境，因此在半导体、光伏、化工和制药等对洁净度要求极高的领域得到了广泛应用。
一、基本工作原理
干式螺杆真空泵是一种先进的真空获得设备，通过两个相互啮合但不接触的螺杆转子在泵腔内同步反向
旋转来产生真空。与传统油封式真空泵不同，干式螺杆真空泵无需工作液，能够提供洁净无污染的真空
环境，因此在半导体、光伏、化工和制药等对洁净度要求极高的领域得到了广泛应用。
二、主要技术特点
1、完全干式运行：无需任何工作液，避免了油蒸气污染，适合洁净环境
2、抽速范围宽：单级可实现10?至10?² Pa的宽范围真空
3、耐腐蚀设计：可采用特殊涂层和材料处理，适应腐蚀性气体环境
4、易于维护：结构相对简单，维护周期长，运行成本低
5、低振动低噪音：动态平衡良好的转子设计确保运行平稳
三、与传统真空泵的对比优势
对比维度
干式螺杆真空泵
油封式旋片泵
罗茨真空泵
洁净度
极高，无油污染
有油蒸气污染风险
较高，但可能有微量润滑剂
维护需求
低
高（需定期换油
中等
耐腐蚀性
可通过材料升级增强
较差
中等
极限真空
中高真空(10?² Pa)
中真空(10?¹ Pa)
需与前级泵组合使用
能耗效率
较高
较低
高
浙江省的真空泵设备厂家——杭州新安江工业泵有限公司，主营干式螺杆真空泵、水喷射真空泵、水环
式真空泵、液环真空泵、无油真空泵、罗茨真空泵、钢衬四氟真空机组、不锈钢真空机组、钢衬塑PE/
钢衬塑PO储罐、钢衬四氟储罐、不锈钢储罐、PPH/HDPE储罐、废气处理成套设备、酸雾净化塔、防腐储
槽、真空罐、计量罐、化工离心泵、料浆泵、磁力泵、自吸泵、管道泵等。
我企业是一家集科研、设计、生产、销售和系统集成为一体的高新技术企业，近七年连续列入建德市重
点工业企业， 2012年被评为国家高新技术企业。公司努力加快技术创新和新产品开发的步伐，现拥有杭
州新安江防腐工业泵省高新技术企业研发中心，拥有罗茨真空泵冷却系统等45项国家专利技术（其中发
明专利4项）。
